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超純水開始是由美國科技界利用蒸餾、反滲透技術、去離子等技術來開發生產出來的水。現在它也被廣泛應用于生物學、醫學等領域。水質基本上不含雜質，包括人體所需的礦物質元素。
超純水在一般技術中很難實現。如果水的電阻率大于或接近18mΩ*cm，則可稱為超純水。超純水設備通常采用反滲透和EDI超純水工藝。EDI超純水技術是一種將離子交換樹脂和離子膜結合起來，在電場作用下連續去除離子的水處理方法。它是隨著工業生產對純水水質要求的提高和環保處理用水要求的提高而逐步發展起來的。
EDI超純水技術是利用混合離子交換樹脂吸附水中的陰陽離子，在直流電壓作用下通過陰陽離子交換膜將離子去除的過程。在這個過程中，離子交換樹脂是電連續再生的。這項新技術不僅可以取代傳統離子交換裝置生產超純水，而且可以采用對稱堆放的方式。陰陽樹脂在陰陽離子膜之間混合并交換，連續再生。
傳統的離子交換已越來越不能滿足現代工業和環境保護的需要，結合膜、樹脂和電化學原理的EDI超純水技術已成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的再生使用電力而不是酸堿，因此能夠滿足當今世界的環保要求。自EDI超純水技術產業化以來，世界各地已經安裝了數千套EDI系統，尤其是在制藥、半導體、電力和表面清潔行業。
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