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超純水設備的應用對于提高芯片制造的環保性也有著積極作用。在應用過程中不會對環境產生污染，完全符合當前社會對于工業生產綠色、環保的發展要求。...
超純水設備是經過研究人員實驗并檢驗的生產超純水的優良產品，它的工藝流程更短，采用了雙級反滲透系統+EDI模塊的處理工藝，大大提高了生產效率，出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)。...
超純水設備產水連續穩定，由多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成預處理系統，綜合反滲透系統、EDI系統、拋光混床等構成主要工藝，結構設計緊湊，不會因為樹脂再生停止運行。...
超純水設備主要采用反滲透工藝和EDI工藝以及拋光混床工藝聯合制備超純水，這樣可以將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不分解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度。...
超純水設備經過多年實踐檢驗，采用反滲透、EDI裝置結合拋光混床模塊化設計工藝，并結合膜分離技術，出水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃)，能夠用來為化學實驗生產質量穩定的超純水。...
超純水設備可以去除水中的微粒、有機物、無機物和其他雜質，確保水質達到極高純度，從而保證硅晶圓的質量。...
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