半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高,大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本。水利用率高,運(yùn)行可靠,經(jīng)濟(jì)合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工藝
預(yù)處理→UF系統(tǒng)→一級(jí)反滲透→PH調(diào)節(jié)→級(jí)間水箱→二級(jí)反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環(huán)增壓泵→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備特點(diǎn)
為滿足用戶需要,達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì),盡可能地減少各級(jí)的污染,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量,在工藝設(shè)計(jì)上,以符合國(guó)家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水作為源水,再設(shè)有介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、拋光混床等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高壓水泵設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
系統(tǒng)應(yīng)用場(chǎng)合
☆半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
☆電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水
☆黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗用純水
☆液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制
☆集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)
☆半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗
☆超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料
☆實(shí)驗(yàn)室和中試車間
☆汽車、家電表面拋光處理
☆光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品
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